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朗途实验室
专注于表面界面控制技术研发,重点解决相关基础理论应用问题,搭建超精密平面加工的基础理论研究与关键技术突破的科研体系。





砺晶实验室
专注于精密加工工艺的研究和开发,重点解决各类半导体材料的不同工艺问题,实现设备+工艺的整体解决方案。



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